特气供气系统

特气供气系统

半导体、光伏、LEDTFT_LCD、光纤、科研院等行业的客户在工艺制程中会使用到易燃易爆/有毒有害/腐蚀性等各类特种气体SiH4, NH3, Cl2等;特气供气系统就是把各种特种气体在满足工艺制程要求的纯度、压力和流量的前提下安全稳定的供应到工艺设备内。

一、  特气供气系统组成部分

主要部件:特气系统主要包括气源供应(特气柜、BSGS)、特气分配(VMB)、特气输送(管道阀门等)、工艺过程控制(PLC自动控制器)、以及气体泄漏侦测、尾气处理等主要模块。

 

二、特气柜/气瓶架

用于半导体和LCD微电子等行业的特殊气体输送系统,特气柜通常用于有毒、易燃、腐蚀性气体,气瓶架可用于惰性气体。

☆根据客户实际情况自行设计、量身定制,安全美观、实用方便;

☆柜体采用3mm钢板,坚固防爆,观察窗口采用安全玻璃;

PLC控制和触摸屏操作,实现全自动钢瓶切换操作,简便直接;

☆可配备多路通讯端口供选择;

☆底座可加装电子秤;

 

                

 

三、气体分配箱/分配盘面

适用于半导体和微电子行业特殊气体输送系统,分配箱多用于有毒、易燃、腐蚀性气体,分配盘面一般用于惰性气体;

主要起到对特气柜出来的气体进行二次分配的作用;

分为全自动、半自动和手动控制;

吹扫、真空功能可选;

 

       
四、特气输送管路/二次配管

五、尾气处理系统

根据需处理的气体种类不同,通过合适的燃烧、水洗、吸附、化学反应等对工艺机台排放的有毒有害尾气进行无害化处理,达到环保排放标准。

 

  

六、气体监控系统

GMS/UMS气体中央监控系统,通过上位机远程显示特气房内BSGS/GC/CDS实时运行界面以及实时运行数据, 实时显示各个侦测器的数据以及侦测器的运行状态, 实时显示VMB压力值, 双套管夹套压力数据采集, 当压力超限后报警;相应BSGS/GC/VMB的紧急切断, 当发生2级气体泄漏报警后,系统自动根据预先设定的程序切断BSGS/GC的主供气阀门; 数据及报警的归档和打印, 重要的数据和报警都进行归档,可以查看历史数据以了解过程中的工作状况,并可以将需要的数据打印出来。

     

七、特殊定制服务

对客户仪器设备上需要的各种非标高纯洁净系统提供高质量代加工服务。

   

 


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