半导体——某半导体上市公司特气柜、VMB工程项目

栏目:特气半导体案例分享 发布时间:2017-10-27
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非常典型的特气工程项目。该项目规模大、时间紧、气体种类多、要求高,经过我方专业人员的努力,用户最终给出完美的赞扬。


客户现场气体配置:O2,HE,AR,N2,NF3,NH3,SiH4,N2O,SF6,C4F8,CF4等。

现场气瓶间共规划两个

1,惰性气房为全自动气瓶架供气模式,
用户在监控室通过电脑就可以进行相关操作以及对气体的实时监控,
所有气瓶架及面板均在公司无尘室组装测试合格后发往客户现场进行安装。

2,特气房全部采用全自动防爆特气柜,
均为全自动带远程控制功能,
客户在监控室通过电脑就可以进行相关操作以及对气路的实时监控。
SiH4采用双套管工艺,NH3盘面及管路加装了加热系统。
并且装有泄露侦测系统和特气柜联动控制。

此项目工序繁多并涉及高空作业,
我司现场经理严格把关质量、安全以及项目进度,
整个项目在施工过程中积极与客户进行技术沟通,
并对客户提出的异议以及方案细节的调整进行了高度配合,
得到了客户的一致认可。


特气管1.png