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172017-051气瓶必须存放在阴凉、干燥、远离热源的房间，并且要严禁明火，防曝晒。除不燃性气体外，一律不得进入实验楼内。使用中的气瓶要直立固定。
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112017-01特气输送系统是指：将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压力等参数的控制，通过管道、无二次污染、稳定的输送到工艺设备的用气点。其基本流程是：气源 控制柜 管道传输 VMB 用气点
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232016-11
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062016-07
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282016-011、硅烷（SiH4）：有毒。硅烷在半导体工业中主要用于制作高纯多晶硅、通过气相淀积制作二氧化硅薄膜、氮化硅薄膜、多晶硅隔离层、多晶硅欧姆接触层和异质或同质硅外延生长原料、以及离子注入源和激光介质等，还可用于制作太阳能电池、光导纤维和光电传感器等。
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