特气系统配管技术及施工工艺

配管技术及施工工艺:

所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点（POU ），为了达到工艺对气体的质量要求，除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，配管系统的材料选用和施工质量就显得尤为重要。

纯气配管技术是高纯气体供气系统的重要组成部分，是能否将符合要求的高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键技术；

所谓高纯气配管技术包括系统的正确设计、管件及阀件的选择、施工安装和试验测试等内容。

近年来以大规模集成电路为代表的微电子产品生产对高纯气体的纯度和杂质含量的日益严格的要求，使高纯气体的配管技术日益受到关注和重视。
    

配管系统的材料选用

高纯氮气（PN2 ）：系统管道采用内壁电解抛光（EP）低碳（316L） 不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。 

氮气 （N2 ）：系统管道采用内壁电解抛光（EP）低碳（316L）不锈钢管或光亮退火（BA）低碳（316L）不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。

高纯氢气（PH2）氢气（H2）：系统管道采用内壁电解抛光（EP）低碳（316L）不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氩气（Ar）：系统管道采用内壁电解抛光（EP）低碳（316L）不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氦气（He ）：系统管道采用内壁电解抛光（EP）低碳（316L）不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

压缩空气（CDA）：系统管道采用光亮退火（BA）低碳（316L）不锈钢管，阀门采用相同材质的球阀。

特气系统：系统管道采用内壁电解抛光（EP）低碳（316L）不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。必要的还需做双套管：外管酸洗钝化（AP）处理，内管电解抛光（EP），阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。