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半导体——泄露报警系统

 

相应BSGS/GC/VMB的紧急切断, 当发生2级气体泄漏报警后,系统自动根据预先设定的程序切断BSGS/GC的主供气阀门; 
数据及报警的归档和打印, 重要的数据和报警都进行归档,可以查看历史数据以了解过程中的工作状况,并可以将需要的数据打印出来。


 


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上一个: 单侧式供气盘面
下一个: 单向阀