特气柜GC、气体分配箱VMB等

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特气柜GC、气体分配箱VMB等


高纯管道在高纯气体输送中的意义

在不锈钢熔炼制材过程中,每吨可吸收大约200g 的气体。不锈钢材加工完毕,不仅其表面粘有各种污染物,而且在其金属晶格内也吸留有一定量的气体。当管路中有气流通过时,金属所吸留的这部分气体会重新进入气流中,污染纯净气体。当管内气流为不连续流动时,管材对所通过的气体形成压力下吸附,气流停止通过时,管材所吸附的气体又形成降压解析,而解析的气体同样作为杂质进入管内纯净气体中。同时,吸附、解析周而复始,使得管材内表面金属也会产生一定的粉末,这种金属粉尘粒子同样污染管内纯净的气体。管材的这一特性至关重要,为了确保输送的气体的纯净度,不仅要求管材内表面有一个极高的光滑度,而且,应当具有很高的耐磨特性。

腐蚀性能较强的气体时,必须选用耐腐蚀的不锈钢管材作配管,否则,管材将会由于腐蚀而在内表面产生腐蚀斑,严重时会出现大片金属剥离甚至穿孔,从而污染输配的纯净气体。

大流量的高纯、高洁净度气体输配管道的连接,原则上全部采用焊接,要求采用的管材,在施焊时组织不发生变化。含碳过高的材料在焊接时,受焊接部位的透气,使得管内外气体的相互渗透,破坏输送气体的纯度、干燥度和洁净度,导致我们的各项努力全部失去意义。

综上所述,对于高纯气体及特种气体输送管道,必需采用一种特种处理的高纯不锈钢管,至使高纯管道系统(包含管道、管件、阀门、VMB  VMP )在高纯气体配送中占有至关重要的使命。

 

一、特气柜/气瓶架

用于半导体和LCD微电子等行业的特殊气体输送系统,特气柜通常用于有毒、易燃、腐蚀性气体,气瓶架可用于惰性气体。

☆根据客户实际情况自行设计、量身定制,安全美观、实用方便;

☆柜体采用3mm钢板,坚固防爆,观察窗口采用安全玻璃;

PLC控制和触摸屏操作,实现全自动钢瓶切换操作,简便直接;

☆可配备多路通讯端口供选择;

☆底座可加装电子秤;

二、气体分配箱VMB/分配盘面VMP

适用于半导体和微电子行业特殊气体输送系统,分配箱多用于有毒、易燃、腐蚀性气体,分配盘面一般用于惰性气体;

主要起到对特气柜出来的气体进行二次分配的作用;

分为全自动、半自动和手动控制;

吹扫、真空功能可选;

  

三、特气输送管路/二次配管


四、尾气处理系统
 
根据需处理的气体种类不同,通过合适的燃烧、水洗、吸附、化学反应等对工艺机台排放的有毒有害尾气进行无害化处理,达到环保排放标准。

 


五、气体监控系统

        GMS/UMS气体中央监控系统,通过上位机远程显示特气房内BSGS/GC/CDS实时运行界面以及实时运行数据实时显示各个侦测器的数据以及侦测器的运行状态实时显示VMB压力值双套管夹套压力数据采集当压力超限后报警;相应BSGS/GC/VMB的紧急切断当发生2级气体泄漏报警后,系统自动根据预先设定的程序切断BSGS/GC的主供气阀门; 数据及报警的归档和打印重要的数据和报警都进行归档,可以查看历史数据以了解过程中的工作状况,并可以将需要的数据打印出来。


六、特殊定制服务

对客户仪器设备上需要的各种非标高纯洁净系统提供高质量代加工服务。


    各类进口不锈钢304304L316316L管道(APBAEP)、配件; 各类国产不锈钢304304L316316L管道(APBAEP)、配件; 供应各类进口焊接式、卡套式、VCR接口高低压球阀、隔膜阀、波纹管阀、单向阀、安全阀、调压阀等; 各类进口焊接式、卡套式、VCR接口高低压力表、过滤器、阻火器; 各种规格卡套式、焊接式三通弯头,VCR接头、垫片;